マイクロマシンの世界―超微細機械開発へのアプローチ
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価格：1,784 円（税込）
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発売日：1992年06月01日
ISBN：9784769370208
管理コード：4769370202
商品レビュー
序章 機械の小型化の夢
第1章 ミクロの世界の機械たち
第2章 マイクロマシンとは何か
第3章 マイクロマシンが使われる分野
第4章 マイクロマシンの具体的応用例
第5章 マイクロマシーニング(製作技術)
第6章 マイクロアクチュエータ
[要旨]
本書は、最新の研究例の写真からはじめて、マイクロマシンとは何かを説明し、従来の大きな機械との違いを述べてある。さらに、マイクロマシンが役立つ応用を紹介してある。その後、半導体技術を利用したマイクロマシンの作り方を基礎から順番に説明し、最後に、マイクロマシンの鍵をにぎる要素となる力の発生源（マイクロモータとマイクロアクチュエータ）について、世界と国内の最新の研究成果をまとめて紹介した。
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